四氟化硅的制备与提纯

硅酸盐通报 ›› 2015, Vol. 34 ›› Issue (7): 1891-1895.

四氟化硅的制备与提纯

陈学航;李焱;张建刚;高文龙;曹旭;陈烨;刘振东

贵州大学化学与化工学院,贵阳,550025;贵州省产品质量监督检验院,贵阳,550004;中国航天建设集团有限责任公司,北京,100039

出版日期:2015-07-15 发布日期:2021-01-18
基金资助:
贵州省科学技术基金项目(黔科合J字[2013]2158号)%国家质检总局科技计划项目(2013QK251)

Preparation and Purification of Silicon Tetrafluoride

CHEN Xue-hang;LI Yan;ZHANG Jian-gang;GAO Wen-long;CAO Xu;CHEN Ye;LIU Zhen-dong

Online:2015-07-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 四氟化硅(SiF4)是电子和半导体行业中的一种重要原料,在光伏产业中占重要地位.详细介绍了四氟化硅的主要制备方法:硫酸法、Si-F2直接合成法、氟硅酸盐热解法和氢氟酸法,并对四氟化硅提纯工艺进行了比较.

中图分类号:

TQ127

陈学航;李焱;张建刚;高文龙;曹旭;陈烨;刘振东. 四氟化硅的制备与提纯[J]. 硅酸盐通报, 2015, 34(7): 1891-1895.

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