工艺参数选择对石英玻璃刻蚀性能的研究

硅酸盐通报 ›› 2020, Vol. 39 ›› Issue (6): 1949-1953.

工艺参数选择对石英玻璃刻蚀性能的研究

张文琼;方亮

厦门大学嘉庚学院,漳州,363105

出版日期:2020-06-15 发布日期:2020-06-15
基金资助:
福建省漳州市自然科学基金(ZZ2018J27)%厦门大学嘉庚学院预研究项目(YY2019L03)

Etching Performance of Quartz Glass by the Choice of Process Parameters

ZHANG Wenqiong;FANG Liang

Online:2020-06-15 Published:2020-06-15

摘要/Abstract

摘要： 采用ICP601型刻蚀机,对石英玻璃进行刻蚀,结果表明,随着气压增大,刻蚀速率增大,0.5 Pa时,刻蚀速率达到峰值50 nm/min,而后随着气压的增大,刻蚀速率降低.0.5 Pa气压下的石英玻璃微槽底部平直,“长草现象”逐步消失.随着功率的增大,刻蚀速率变快.通过不同玻璃材料的刻蚀,可以看出,在采用SF6刻蚀剂的情况下,K9玻璃的刻蚀速率大于石英玻璃的刻蚀速率,GG17耐高温玻璃的刻蚀速率小于石英玻璃的刻蚀速率.本研究可为玻璃微器件制备提供工艺参考.

中图分类号:

TQ170.6

张文琼;方亮. 工艺参数选择对石英玻璃刻蚀性能的研究[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(6): 1949-1953.

ZHANG Wenqiong;FANG Liang. Etching Performance of Quartz Glass by the Choice of Process Parameters[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2020, 39(6): 1949-1953.