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硅酸盐通报 ›› 2019, Vol. 38 ›› Issue (9): 2871-287.

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铝含量对光敏微晶玻璃介电性能的影响

张浩;朱永昌;崔竹;韩勖;耿安东   

  1. 中国建筑材料科学研究总院有限公司,北京,100024;西南科技大学材料科学与工程学院,绵阳,621000
  • 出版日期:2019-09-15 发布日期:2021-01-19

Effect of Aluminum Content on Dielectric Properties of Photosensitive Glass-Ceramics

ZHANG Hao;ZHU Yong-chang;CUI Zhu;HAN Xu;GENG An-dong   

  • Online:2019-09-15 Published:2021-01-19

摘要: 光敏微晶玻璃是一种新型TGVs(Through Glass Vias,玻璃通孔)转接板基板材料,介电性能的改善有助于光敏微晶玻璃在集成电路应用中的发展.实验通过熔融法制备出不同Al2O3含量的光敏微晶玻璃,并借助网络矢量分析仪、红外光谱、拉曼光谱等手段研究样品的介电常数、介电损耗以及玻璃网络结构.其中Al2O3含量为2wt%的样品具有最优的介电常数和介电损耗,分别为5.0和4.8 ×10-3(1 GHz).

关键词: 光敏微晶玻璃;介电常数;介电损耗;TGVs

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