不同氟化盐和盐酸混合液做刻蚀剂制备Ti2CTx

硅酸盐通报 ›› 2019, Vol. 38 ›› Issue (7): 2057-2060.

不同氟化盐和盐酸混合液做刻蚀剂制备Ti2CTx

杨磊;李超;邹云麒;严明

湖北工业大学材料与化学工程学院,武汉,430068;湖北省绿色轻工材料重点实验室,武汉430068;湖北工业大学绿色轻质材料与加工协同创新中心,武汉430068

出版日期:2019-07-15 发布日期:2021-01-19
基金资助:
绿色轻工材料湖北省重点实验室开放基金(201710A15)

Preparation of Ti2CTx by Using Different Fluoride Salts and Hydrochloric Acid as Etchant

YANG Lei;LI Chao;ZOU Yun-qi;YAN Ming

Online:2019-07-15 Published:2021-01-19

摘要/Abstract

摘要： 以三种不同的氟化盐(NaF、LiF、KF)与HCl的混合溶液做刻蚀剂刻蚀Ti2AlC制备出具有二维片状结构的MXene相材料Ti2CTx.刻蚀温度和刻蚀液F-浓度对Ti2CTx的制备均有重要影响.当温度为60℃时,NaF+ HCl和KF+ HCl刻蚀液可以实现完全剥离;当温度为70℃时,LiF+ HCl刻蚀液可以实现完全剥离.相比3 mol/L F-的刻蚀液,4 mol/L F-的刻蚀液制备的产物刻蚀效果更好.通过对刻蚀产物进行红外光谱分析,可以发现MXene相表面含有O、F等官能团,4 mol/L F-的刻蚀液所制备的产物中F官能团含量较高.

关键词: Ti2CTx, 氟化盐, 刻蚀, F-浓度

中图分类号:

TQ174

杨磊, 李超, 邹云麒, 严明. 不同氟化盐和盐酸混合液做刻蚀剂制备Ti2CTx[J]. 硅酸盐通报, 2019, 38(7): 2057-2060.

YANG Lei, LI Chao, ZOU Yun-qi, YAN Ming. Preparation of Ti2CTx by Using Different Fluoride Salts and Hydrochloric Acid as Etchant[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2019, 38(7): 2057-2060.

[1]	张文琼;方亮. 工艺参数选择对石英玻璃刻蚀性能的研究[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(6): 1949-1953.
[2]	郝霞;李军葛;潘国治;赵会峰;姜宏. 碱性盐溶液蚀刻法制备新型多孔纳米减反增透玻璃[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(4): 1296-1301.
[3]	台畅;高志廷. 工艺参数对SiC刻蚀性能及微结构型貌的影响[J]. 硅酸盐通报, 2018, 37(5): 1795-1798.
[4]	高锦成;李正亮;曹占锋;姚琪;关峰;惠官宝. 非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管关键工艺研究[J]. 硅酸盐通报, 2016, 35(9): 2946-2949.