沉积条件对SiO2光子晶体表面形貌的影响

硅酸盐通报 ›› 2015, Vol. 34 ›› Issue (4): 1127-1132.

沉积条件对SiO2光子晶体表面形貌的影响

闫刚印;杭联茂;孟江;赵亚妮;何磊

西藏民族学院西藏自治区光信息处理与可视化技术重点实验室,咸阳712082;兰州大学物理科学与技术学院,兰州730000;西藏民族学院西藏自治区光信息处理与可视化技术重点实验室,咸阳,712082

出版日期:2015-04-15 发布日期:2021-01-18
基金资助:
西藏自治区自然科学基金%西藏民族学院青年学人培育计划(15MYQP05)

Influence of Deposition Conditions on Surface Morphology of SiO2 Photonic Crystal

YAN Gang-Yin;HANG Lian-Mao;MENG Jiang;ZHAO Ya-Ni;HE Lei

Online:2015-04-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 自组装制备是一种常用的三维光子晶体制备方法,在制备光子晶体过程中影响薄膜质量的因素较多.本研究对原始的双基片垂直沉积法进行了一定的改进,控制光照强弱、蒸发速度快慢等条件,沉积了不同的SiO2光子晶体薄膜样品.通过与单基片垂直沉积法得到的薄膜样品进行比较,得到了双基片垂直沉积法沉积光子晶体薄膜样品的最优实验条件.

关键词: 光子晶体;自组装;双基片垂直沉积

Key words: photonic crystal;self assembled;two-substrate vertical deposition

中图分类号:

闫刚印;杭联茂;孟江;赵亚妮;何磊. 沉积条件对SiO2光子晶体表面形貌的影响[J]. 硅酸盐通报, 2015, 34(4): 1127-1132.

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