纳米CeO2颗粒的表面改性及其抛光性能研究

硅酸盐通报 ›› 2013, Vol. 32 ›› Issue (6): 1026-1031.

纳米CeO2颗粒的表面改性及其抛光性能研究

付银元;肖汉宁;欧阳唐哲;周筱桐;张海峰

湖南大学材料科学与工程学院,长沙,410082;湖南大学材料科学与工程学院,长沙410082;湖南翰林新材料股份有限公司,长沙410205;湖南翰林新材料股份有限公司,长沙,410205

出版日期:2013-06-15 发布日期:2021-01-18

Surface Modification of Ceria Nanoparticles and Their Chemical Mechanical Polishing Behavior

FU Yin-yuan;XIAO Han-ning;OUYANG Tang-zhe;ZHOU Xiao-tong;ZHANG Hai-feng

Online:2013-06-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 为改善CeO2粉体的化学机械抛光(CMP)性能,采用聚乙烯亚胺(PEI)作为分散剂,对CeO2粉体表面进行改性,通过傅立叶红外光谱(FTIR)、透射电镜显微镜(TEM)、Zeta电位仪、激光粒度仪及稳定性测试等方法分析了表面改性对CeO2颗粒表面性质及其抛光液分散稳定性的影响.结果表明:纳米CeO2粉末经PEI改性后改变了其在水中的胶体性质,Zeta电位绝对值提高,CeO2颗粒间的空间位阻增加,抛光液的分散稳定性得到了明显改善.改性后纳米CeO2抛光液对手机面板玻璃的化学机械抛光(CMP)的抛光效率(MRR)由改性前的330 nm/min增加到381.6nm/min,具有更好的抛光效果.

关键词: 氧化铈;表面改性;聚乙烯亚胺;抛光效率

Key words: ceria;surface modification;polyethyleneimine;polishing efficiency

中图分类号:

TQ174

付银元;肖汉宁;欧阳唐哲;周筱桐;张海峰. 纳米CeO2颗粒的表面改性及其抛光性能研究[J]. 硅酸盐通报, 2013, 32(6): 1026-1031.

FU Yin-yuan;XIAO Han-ning;OUYANG Tang-zhe;ZHOU Xiao-tong;ZHANG Hai-feng. Surface Modification of Ceria Nanoparticles and Their Chemical Mechanical Polishing Behavior[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2013, 32(6): 1026-1031.

[1]	郑彧;韦中华;张阳;张跃;童亚琦;张伟儒. 多孔二氧化锆基隔热材料的制备及性能[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(11): 3643-3648.
[2]	杨万利;程皓;李婷;冯婧;韩婷;史成斌;史忠旗. 内加热器陶瓷保护套管的温度场和应力场数值模拟[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(11): 3649-3654.
[3]	杨瑞强;汪永清;周健儿;包启富;刘昆;董伟霞. 中温氧化双层花釉的反应过程研究[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(10): 3327-3333.
[4]	袁琦;郑玉;李志辉;孟祥宇;周圆;刘文杰. 颗粒稳定泡沫法制备钢渣泡沫陶瓷[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(10): 3334-3339.
[5]	胡波;高宗强;鲍崇高. 硅酸钙/β-磷酸三钙生物陶瓷的光固化成型工艺及性能研究[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(9): 2950-2955.
[6]	姚舜;王友法. 钛镁掺杂对氧化铝陶瓷的相组成、微观形貌及沿面闪络特性的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(9): 2964-2969.
[7]	梁新星;黄小卫;梁奇星;刘小钢;沈远胜;牛沈军. 用于超高温晶体生长炉的钇锆固溶体陶瓷[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(9): 3040-3042.
[8]	王立宁;陈振;张增志. 发泡剂对矿渣基地质聚合物气孔结构及吸水性的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(7): 2085-2091.
[9]	安迪;杜景红;邱哲生;严继康;甘国友. 发泡剂对多孔氧化铝陶瓷孔结构和抗弯强度的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(7): 2248-2252.
[10]	杨瑞强;汪永清;周健儿;包启富;刘昆;董伟霞. 组分对(K,Na)2O-CaO-Al2O3-B2O3-SiO2系分相乳浊釉性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(7): 2253-2259.
[11]	王琦琦;刘作冬;于永生;朱盛辉;刘鹏. 低品位钾长石制备多孔保温隔热陶瓷研究[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(7): 2267-2273.
[12]	司伟. 添加氟化物对硅灰石玻璃陶瓷性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(7): 2281-2285.
[13]	张春梅;蔡靖轩;徐豪;程小伟;张凤. 汽车尾气净化用多孔氧化铝陶瓷制备技术研究进展[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(6): 1902-1908.
[14]	史璐玉;孙诗兵;马存喜;陈艳晓;李群艳;吕锋. SiO2-Al2O3-R2O-Fe2O3系统发泡陶瓷及其孔结构研究[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(6): 1916-1922.
[15]	廖丽璇;张小君;韩颖超. 聚丙烯酸对Eu3+掺杂纳米羟基磷灰石的表面改性研究[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(6): 1923-1929.