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硅酸盐通报 ›› 2013, Vol. 32 ›› Issue (10): 2075-2078.

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Sb2S3薄膜制备技术研究进展

刘剑;郝斌;董秀珍;李悦   

  1. 唐山学院环境与化学工程系,唐山063000;北京工业大学材料科学与工程学院薄膜实验室,北京100124;唐山学院环境与化学工程系,唐山,063000
  • 出版日期:2013-10-15 发布日期:2021-01-18
  • 基金资助:
    唐山学院学科建设基金(TSC2013003);唐山学院自然科学类项目(13003B);河北省高等学校科学技术研究项目(QN20132015)

Research Progress on Preparation Technology of Sb2S3 Thin Film

LIU Jian;HAO Bin;DONG Xiu-zhen;LI Yue   

  • Online:2013-10-15 Published:2021-01-18

摘要: 本文首先对Sb2S3薄膜的性质和应用进行了简单介绍,然后从真空热蒸发法、化学浴沉积法、仿生自组装单层膜法和雾化热解喷涂法等现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,文章最后对Sb2S3薄膜的制备方法改进及器件研究领域进行了展望.

关键词: Sb2S3薄膜;制备;研究进展

Key words: Sb2S3 thin film;preparation;research progress

中图分类号: