SrTiO3薄膜制备技术研究进展

硅酸盐通报 ›› 2012, Vol. 31 ›› Issue (5): 1185-1189.

SrTiO3薄膜制备技术研究进展

刘剑;郝斌;董秀珍;李悦;王伟志

唐山学院环境与化学工程系,唐山,063000;唐山学院计算机科学与技术系,唐山,063000

出版日期:2012-10-15 发布日期:2021-01-18
基金资助:
唐山市科学技术研究与发展指导计划项目(11110214a)%唐山学院科研项目(11001B)

Research Development on Preparation of SrTiO3 Thin Film

LIU Jian;HAO Bin;DONG Xiu-zhen;LI Yue;WANG Wei-zhi

Online:2012-10-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 拥有众多优良性能的SrTiO3薄膜已经受到了人们的广泛关注.本文首先对SrTiO3薄膜的性质和应用进行了简单介绍,然后从物理和化学两大类方法着重对其现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,文章最后对SrTiO3薄膜的制备及器件研究领域进行了展望.

中图分类号:

O484

刘剑;郝斌;董秀珍;李悦;王伟志. SrTiO3薄膜制备技术研究进展[J]. 硅酸盐通报, 2012, 31(5): 1185-1189.

LIU Jian;HAO Bin;DONG Xiu-zhen;LI Yue;WANG Wei-zhi. Research Development on Preparation of SrTiO3 Thin Film[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2012, 31(5): 1185-1189.

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