单晶硅衬底异质外延3C-SiC薄膜研究进展

硅酸盐通报 ›› 2011, Vol. 30 ›› Issue (5): 1083-1088.

单晶硅衬底异质外延3C-SiC薄膜研究进展

石彪;朱明星;陈义;刘学超;杨建华;施尔畏

中国科学院上海硅酸盐研究所,上海201800;中国科学院研究生院,北京100049;中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,201800

出版日期:2011-10-15 发布日期:2021-01-18
基金资助:
中国科学院知识创新工程重要方向性项目(KGCX2-YW-206)%上海市科委项目(09DZ1141400;09520714900)

Research Progress in Hetero-epitaxial Growth of 3C-SiC on Si Substrate

SHI Biao;ZHU Ming-xing;CHEN Yi;LIU Xue-chao;YANG Jian-hua;SHI Er-wei

Online:2011-10-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 3C-SiC薄膜的外延生长一直是SiC材料制备领域的一个热点,单晶Si衬底异质外延3C-SiC是实现大尺寸、低成本薄膜的有效方法,备受人们关注.单晶Si与3C-SiC之间存在较大的晶格失配(20％)和热膨胀系数差异(8％),严重制约着高质量单晶薄膜的制备.本文对单晶Si衬底异质外延3C-SiC薄膜的基本原理和工艺过程进行了总结,着重介绍了薄膜生长中的缺陷和可控掺杂方面的研究进展以及面临的挑战,并对今后的研究热点做了归纳展望.

中图分类号:

TQ171

石彪;朱明星;陈义;刘学超;杨建华;施尔畏. 单晶硅衬底异质外延3C-SiC薄膜研究进展[J]. 硅酸盐通报, 2011, 30(5): 1083-1088.

SHI Biao;ZHU Ming-xing;CHEN Yi;LIU Xue-chao;YANG Jian-hua;SHI Er-wei. Research Progress in Hetero-epitaxial Growth of 3C-SiC on Si Substrate[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2011, 30(5): 1083-1088.

[1]	王海波;孙青竹;王本菊. 烧结时间对高钛高炉渣-粉煤灰微晶泡沫玻璃的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(11): 3624-3628.
[2]	崔介东;曹欣;王萍萍;石丽芬;仲召进;赵凤阳;高强;李金威. 液晶显示屏基板玻璃与盖板玻璃红外与拉曼光谱分析[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(11): 3664-3668.
[3]	蔡??奚小波;张翼夫;张瑞宏;张剑峰;许嘉文;张超. 支撑柱缺位对弧面钢化真空玻璃支撑应力的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(11): 3669-3676.
[4]	张振华;刘东阳;赖博渊;孙志军;唐迪. 钢化应力与硫化镍结石对钢化玻璃自爆率的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(11): 3677-3682.
[5]	王照猛;朱雪梅;陈淑勇;李从云;马立云. 分子动力学模拟研究混合碱土金属对无碱硼铝硅酸盐玻璃结构和性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(10): 3340-3346.
[6]	崔介东;曹欣;石丽芬;仲召进;赵凤阳;高强;李金威. 配合料总铁含量及Fe2+/(Fe2++Fe3+)对平板玻璃透过率与色度的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(10): 3347-3352.
[7]	张凡;王晋珍;徐磊;李要辉. 玻璃-陶瓷基支撑点对真空玻璃力学性能及热导的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(9): 2974-2979.
[8]	田英良;刘亚茹;李建峰;王伟来;陈鑫鑫;李俊杰;司国栋;王为. 超薄玻璃导热系数测量方法及影响因素[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(7): 2291-2296.
[9]	王广雷;谢俊;蔡棋;谷洛兵;徐凯;韩建军. 射频等离子体飞行熔化制备石英玻璃微球研究[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(6): 1942-1948.
[10]	施麟芸;毛佩林;刘松柏;聂涛. CaO-MgO-Al2O3-SiO2系铜尾矿微晶玻璃析晶特征研究[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(5): 1645-1649.
[11]	曾淋林;周莉;王琦;潘国治;姜宏. 不同氧化铝引入料对高铝玻璃熔制与性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(5): 1659-1664.
[12]	向鹏程;孙诗兵;田英良;吕锋;李要辉;王晋珍;左岩. V2O5-TeO2-P2O5-Fe2O3系无铅低熔点封接玻璃性能研究[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(4): 1277-1282.
[13]	雷杰;吴浪;江枫;杨远波;张海洋;康泽. 制备工艺对重晶石-硼硅酸盐玻璃陶瓷结构及性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(4): 1289-1295.
[14]	郝霞;李军葛;潘国治;赵会峰;姜宏. 碱性盐溶液蚀刻法制备新型多孔纳米减反增透玻璃[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(4): 1296-1301.
[15]	何光;郭富强;陈筱丽;龚财云;粟勇. 小型玻璃电熔窑的数值模拟[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(4): 1302-1307.