光学玻璃上HFCVD法沉积金刚石膜的实验研究

硅酸盐通报 ›› 2010, Vol. 29 ›› Issue (6): 1280-1283.

光学玻璃上HFCVD法沉积金刚石膜的实验研究

许春;左敦稳;孙玉利;卢文壮;王珉

南京航空航天大学机电学院,南京,210016

出版日期:2010-12-15 发布日期:2021-01-18
基金资助:
中国博士后科学基金(200904501095)%江苏省博士后基金(0901035C)

Experimental Study on Deposition of Diamond Films Prepared by HFCVD on Optical Glass

XU Chun;ZUO Dun-wen;SUN Yu-li;LU Wen-zhuang;WANG Min

Online:2010-12-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 采用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术在石英玻璃上成功制备出高质量金刚石膜.采用表面三维轮廓仪和傅立叶红外光谱仪测试了不同工艺条件下金刚石薄膜的表面粗糙度和红外透射率,并分析了测试结果.结果表明所制备的金刚石膜表面平整,红外透射性能良好.

中图分类号:

O484

许春;左敦稳;孙玉利;卢文壮;王珉. 光学玻璃上HFCVD法沉积金刚石膜的实验研究[J]. 硅酸盐通报, 2010, 29(6): 1280-1283.

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