固结磨料抛光的平面度预测模型

硅酸盐通报 ›› 2010, Vol. 29 ›› Issue (4): 768-774.

固结磨料抛光的平面度预测模型

康静;左敦稳;孙玉利;朱永伟

南京航空航天大学机电学院,南京,210016

出版日期:2010-08-15 发布日期:2021-01-18
基金资助:
江苏省博士后科研资助计划项目(0901035C)%中国博士后科学基金(200904501095)

Flatness Forecast Model for Fixed Abrasive Polishing

KANG Jing;ZUO Dun-wen;SUN Yu-li;ZHU Yong-wei

Online:2010-08-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 本文利用Matlab建立了固结磨料抛光的平面度预测模型,根据硅片初始形貌及抛光参数值,可以预测抛光后硅片的表面形貌,并通过实验验证了该模型的可靠性.利用该模型分析了各抛光工艺参数对平面度的影响,结果表明:硅片和抛光垫转速不等时,硅片呈凸形,转速相差越大,平面度越差,但转速大小对平面度影响较小;增大偏心距有利于减小转速不等带来的影响,使平面度变好;选择较小的压力有利于平面度的提高.

中图分类号:

TG74

康静;左敦稳;孙玉利;朱永伟. 固结磨料抛光的平面度预测模型[J]. 硅酸盐通报, 2010, 29(4): 768-774.

KANG Jing;ZUO Dun-wen;SUN Yu-li;ZHU Yong-wei. Flatness Forecast Model for Fixed Abrasive Polishing[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2010, 29(4): 768-774.

[1]	李颂华;韩光田;孙健. 氧化锆陶瓷沟道磨削表面质量研究[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(4): 1260-1265.
[2]	秦增锋;尹育航;许鹏飞;刘凯. 烧结温度对陶瓷结合剂金刚石砂轮性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2018, 37(7): 2152-2156.
[3]	杨玉鹤;尹育航;周浩钧;房佳斌. 石墨对金属结合剂金刚石磨具性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2017, 36(1): 340-344.
[4]	侯永改;张明岩;田久根;路继红;祝聿霏. ZrO2对CBN用低温陶瓷结合剂及磨具性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2013, 32(8): 1592-1596.
[5]	黄敬敬;薛群虎;张慧梅. 混合碱效应对CBN磨具用玻璃结合剂性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2010, 29(6): 1389-1393.
[6]	房佳斌;尹育航;李燕琳. 图像分析技术在磨具磨粒的形态分布研究中的应用[J]. 硅酸盐通报, 2016, 35(7): 2309-2313.

固结磨料抛光的平面度预测模型

Flatness Forecast Model for Fixed Abrasive Polishing

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