Si衬底上Mg0.3Zn0.7O薄膜结构及光学性能

硅酸盐通报 ›› 2009, Vol. 28 ›› Issue (3): 619-623.

Si衬底上Mg0.3Zn0.7O薄膜结构及光学性能

刘全生;张希艳;柏朝晖;王能利;王晓春;米晓云;卢利平;孔智艳

长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022

出版日期:2009-06-15 发布日期:2021-01-15
基金资助:
国家自然科学基金(50772016)

Structure and Optical Properties of Mg0.3Zn0.7O Film Deposited on Si Substrate

LIU Quan-sheng;ZHANG Xi-yan;BAI Zhao-hui;WANG Neng-li;WANG Xiao-chun;MI Xiao-yun;LU Li-ping;KONG Zhi-yan

Online:2009-06-15 Published:2021-01-15

摘要/Abstract

摘要： 采用溶胶-凝胶旋涂法在Si衬底上制备了Mg0.3Zn0.7 O薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见荧光光谱仪和紫外-可见分光光度仪测试了Mg0.3Zn0.7O薄膜的结构和光学性能.结果表明:Si衬底上Mg0.3.Zn0.7O薄膜以六方相ZnO纤锌矿为主,存在少部分立方相MgO,薄膜均匀,平均粒径约为40 nm.吸收光谱中吸收边位于313 nm,相应的带隙为3.96 eV.发光光谱是峰值位于421 nm的宽带谱,激发光谱范围宽,具有近紫外激发优势.

中图分类号:

TB43

刘全生;张希艳;柏朝晖;王能利;王晓春;米晓云;卢利平;孔智艳. Si衬底上Mg0.3Zn0.7O薄膜结构及光学性能[J]. 硅酸盐通报, 2009, 28(3): 619-623.

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