多晶硅铸锭涂层用高纯Si3 N4微粉的研究进展与展望

硅酸盐通报 ›› 2009, Vol. 28 ›› Issue (3): 548-552.

多晶硅铸锭涂层用高纯Si3 N4微粉的研究进展与展望

袁向东;刘利华;李俊国;张联盟

武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室,武汉,430070;中材高新材料股份有限公司,北京,100102;中材高新材料股份有限公司,北京,100102;武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室,武汉,430070

出版日期:2009-06-15 发布日期:2021-01-15
基金资助:
国家科技支撑计划(2008BAE60805)

Research Progress and Prospect of High Purity Si3N4 Powders Used as Multicrystalline Silicon Ingot Coatings

YUAN Xiang-dong;LIU Li-hua;LI Jun-guo;ZHANG Lian-meng

Online:2009-06-15 Published:2021-01-15

摘要/Abstract

摘要： 本文根据国内外高纯氮化硅微粉制备的研究情况,综述了硅粉直接氮化法、硅亚胺热分解法、气相反应法等几种氮化硅粉末的主要制备方法,介绍了各种制备方法在生产多晶硅铸锭涂层用氮化硅微粉的优缺点,并从产品质量、成本等角度分析比较了各种制备方法的特点,指出了制备多晶硅铸锭用氮化硅粉末的主要发展方向.

中图分类号:

TF12

袁向东;刘利华;李俊国;张联盟. 多晶硅铸锭涂层用高纯Si3 N4微粉的研究进展与展望[J]. 硅酸盐通报, 2009, 28(3): 548-552.

YUAN Xiang-dong;LIU Li-hua;LI Jun-guo;ZHANG Lian-meng. Research Progress and Prospect of High Purity Si3N4 Powders Used as Multicrystalline Silicon Ingot Coatings[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2009, 28(3): 548-552.

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