薄膜Se对薄膜Al电极的防护作用探讨

硅酸盐通报 ›› 2008, Vol. 27 ›› Issue (6): 1271-1273.

薄膜Se对薄膜Al电极的防护作用探讨

李志贤;赵彦钊;张方辉

陕西科技大学材料科学与工程学院,西安,710021;陕西科技大学电子与信息工程学院,西安,710021

出版日期:2008-12-15 发布日期:2021-01-15
基金资助:
陕西省专利产业化项目(2005ZZ-04)%陕西省教育厅产业化项目(06JC23)%陕西省教育厅专项基金(07JK191)

Protection Performance Study on Al Electrode of Se Film

LI Zhi-xian;ZHAO Yan-zhao;ZHANG Fang-hui

Online:2008-12-15 Published:2021-01-15

摘要/Abstract

摘要： 本文在25 ℃、相对湿度50%的条件下,分别蒸镀了Al,Al/Se薄膜,研究了它们在空气中的导电性能,试验结果表明,只需50 s, Al薄膜的氧化反应已基本完成,其电阻率变化率为24.9%;大约需要2 min,Al/Se薄膜电阻变化率为4.5%,随后其电阻基本处于稳定状态.这主要是因为薄膜边沿和镀Se薄膜时形成的针孔的铝膜首先被氧化,使电阻增加.形成的Al2O3薄膜阻止了反应的继续进行,电阻不再变化.

中图分类号:

TB321

李志贤;赵彦钊;张方辉. 薄膜Se对薄膜Al电极的防护作用探讨[J]. 硅酸盐通报, 2008, 27(6): 1271-1273.

LI Zhi-xian;ZHAO Yan-zhao;ZHANG Fang-hui. Protection Performance Study on Al Electrode of Se Film[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2008, 27(6): 1271-1273.

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