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硅酸盐通报 ›› 2006, Vol. 25 ›› Issue (5): 171-175.

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铝液对氮化硼基导电陶瓷蒸发舟表面腐蚀的研究

黄向东;沈峰;李强   

  1. 福州大学材料科学与工程学院,福州,350002
  • 出版日期:2006-10-15 发布日期:2021-01-15
  • 基金资助:
    福建省青年科技人才创新基金(2004J001)%福建省教育厅科研项目(JA04152)%福州大学校科研和教改项目(XJY-0305)

Study on Surface Eroding of BN Based Conductive Ceramic Evaporator by Liquid Aluminium

HUANG Xiang-dong;SHEN Feng;LI Qiang   

  • Online:2006-10-15 Published:2021-01-15

摘要: 利用扫描电子显微镜和电子能谱分析了工业应用中的二硼化钛/氮化硼导电陶瓷蒸发舟与金属铝液的反应.通过对蒸发舟与金属铝液接触面的成分面分布及成分线扫描数据的分析,指出该成分蒸发舟的失效机制为液态铝与舟体表面BN发生反应生成AlN,松动的导电相TiB2颗粒被铝液流冲刷到熔池两侧,导致舟体电阻增加及发热不均匀,并且熔池面积不断减小,影响蒸镀品质,最后失效.对改善蒸发舟性能提高其使用寿命提出了建议.

关键词: TiB2/BN;蒸发舟;蒸发镀铝

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