激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究

王锐;李道火;黄永攀;罗丽明;浦坦

中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥,230031;山东道钬纳米技术研究院,济南,250100;中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥,230031;山东道钬纳米技术研究院,济南,250100

摘要： 氮化硅是优良的陶瓷材料,应用广泛.本文研究了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理,提出了减少游离硅的措施,利用双光束激发制备了超微的、非晶纳米氮化硅粉体.实验证明,纳米氮化硅粉体具有一些特殊的物理性能和光谱特性.

王锐;李道火;黄永攀;罗丽明;浦坦. 激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究[J]. 硅酸盐通报, 2004, 23(3): 6-9.

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