氮化硅流延膜的制备

硅酸盐通报 ›› 2003, Vol. 22 ›› Issue (6): 71-74.

氮化硅流延膜的制备

陈殿营;张宝林;庄汉锐;李文兰

中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

出版日期:2003-12-15 发布日期:2021-01-15
基金资助:
中国科学院知识创新工程项目

Preparation of Silicon Nitride Slips by Tape Casting

Online:2003-12-15 Published:2021-01-15

摘要/Abstract

摘要： 流延成型是一种制备高质量陶瓷基片的成型方法.氮化硅是一种高热导率的材料,有望在电子基片领域获得应用.本文利用流延成型制备了具有较好柔韧性和一定强度的氮化硅流延素坯膜.研究了无水乙醇、无水乙醇/丁酮作为溶剂时对浆料粘度的影响.通过优化流延浆料添加剂的各种配比,得出了适合氮化硅粉体(SN-E10)流延的最佳配方.

中图分类号:

TM28

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