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硅酸盐通报 ›› 2003, Vol. 22 ›› Issue (5): 89-91.

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α-Si3N4晶须的制备与分析

曹阳;齐龙浩;潘伟   

  1. 清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084
  • 出版日期:2003-10-15 发布日期:2021-01-15

Preparation and Analysis of α-Si3N4 Whiskers

  • Online:2003-10-15 Published:2021-01-15

摘要: 采用高频等离子体气相反应法制备的无定型氮化硅超细粉末为原料.通过在1450℃氮气气氛下,2h的热处理,使无定型氮化硅转为α相氮化硅,并生长出α-Si3N4晶须.试验分析证明所得到的α-Si3N4晶须直径为50~200nm,无明显缺陷,其晶须生长方向为〈0110〉.

关键词: 等离子体;气相反应;无定型氮化硅;晶须;α-Si3N4

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