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硅酸盐通报 ›› 2002, Vol. 21 ›› Issue (6): 58-62.

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水热法制备薄膜技术

黄晖;苗鸿雁;罗宏杰;姚熹   

  1. 西安交通大学电子材料研究所,西安,710049;陕西科技大学材料工程系,咸阳,712081
  • 出版日期:2002-12-15 发布日期:2021-01-15
  • 基金资助:
    国家杰出青年科学基金(50025208)

Thin Films derived from Hydrothermal Technique

  • Online:2002-12-15 Published:2021-01-15

摘要: 水热法制备薄膜是近年来发展起来的一种很有潜力的液相制膜技术,在制备压电、铁电和氧化物薄膜等领域内的研究很活跃.本文介绍了水热法制备薄摸技术,并综述了相关的研究成果.

关键词: 水热法;水热技术;薄膜

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