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硅酸盐通报 ›› 2000, Vol. 19 ›› Issue (5): 3-8.

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多孔SiO2增透膜改性研究

刘小林;张伟清;乐月琴   

  1. 上海铁道大学基础部,上海,200331;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
  • 出版日期:2000-10-15 发布日期:2021-01-15

Study on the Modification of Porous Silica Antireflective Films

Liu Xiaolin;Zhang Weiqing;Yue Yueqin   

  • Online:2000-10-15 Published:2021-01-15

摘要: 本文通过在SiO2溶胶中掺入聚乙二醇(PEG)或同时掺入PEG和聚硅氧烷,研究了改性后SiO2增透膜的性能.结果表明掺入PEG仅提高了薄膜的激光损伤阈值,而同时掺入PEG和聚硅烷不仅提高了薄膜的激光损伤阈值,还极大地提高了膜层的抗机械损伤能力,延长了薄膜的使用寿命,达到了改善薄膜性能的目的.

关键词: 多孔SiO2;增透膜;聚乙二醇;聚硅氧烷

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