腐蚀模板法获取高长径比β-Si3N4晶种的工艺参数研究

硅酸盐通报 ›› 2020, Vol. 39 ›› Issue (2): 561-567.

腐蚀模板法获取高长径比β-Si3N4晶种的工艺参数研究

袁帅;郑彧;李涤寒;童亚琦;张跃

北京中材人工晶体研究院有限公司,北京 100018;北京航空航天大学材料科学与工程学院,北京 100191;北京中材人工晶体研究院有限公司,北京,100018;上海航天控制技术研究所,上海,201109;北京航空航天大学材料科学与工程学院,北京,100191

出版日期:2020-02-15 发布日期:2021-01-19
基金资助:
国家重点研发计划(2017YFB0310400)

Study on Process Parameters of High Aspect Ratio β-Si3N4 Seed by Corrosion Template Method

YUAN Shuai;ZHENG Yu;LI Dihan;TONG Yaqi;ZHANG Yue

Online:2020-02-15 Published:2021-01-19

摘要/Abstract

摘要： 采用腐蚀模板法对氮化硅陶瓷薄板进行熔融碱腐蚀处理获取β-Si3N4晶种.研究了腐蚀介质、时间对晶粒形貌及分散性的影响.优化了超声、磁力搅拌、研磨三种晶粒剥离的方法,确认磁力搅拌的方法是最佳的剥离工艺.通过X射线衍射和扫描电子显微镜对产物进行了微观形貌观察及物相分析,结果显示获得的晶种为高纯度β-Si3N4,粒径范围为2～10μm,最高长径比可达10以上.

中图分类号:

TQ174.61

袁帅;郑彧;李涤寒;童亚琦;张跃. 腐蚀模板法获取高长径比β-Si3N4晶种的工艺参数研究[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(2): 561-567.

YUAN Shuai;ZHENG Yu;LI Dihan;TONG Yaqi;ZHANG Yue. Study on Process Parameters of High Aspect Ratio β-Si3N4 Seed by Corrosion Template Method[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2020, 39(2): 561-567.