模拟浮法玻璃在线CVD制备SnO2∶Sb薄膜及其性能研究

硅酸盐通报 ›› 2016, Vol. 35 ›› Issue (6): 1856-1860.

模拟浮法玻璃在线CVD制备SnO2∶Sb薄膜及其性能研究

崔永红;张振华;赵会峰;陈峰;刘晓娟;姜宏

海南中航特玻材料有限公司,特种玻璃国家重点实验室,澄迈571924;海南中航特玻科技有限公司,澄迈571924;海南大学,海南省特种玻璃重点实验室,海口570228;海南中航特玻材料有限公司,特种玻璃国家重点实验室,澄迈571924;海南中航特玻科技有限公司,澄迈571924;海南大学,海南省特种玻璃重点实验室,海口570228

出版日期:2016-06-15 发布日期:2021-01-18
基金资助:
国家支撑项目(2013BAJ15B04)%海南省重大科技项目(ZDZX2013002)

Synthesis and Properties Research of SnO2∶Sb Thin Films by Simulating Float Glass On-line CVD Process

CUI Yong-hong;ZHANG Zhen-hua;ZHAO Hui-feng;CHEN Feng;LIU Xiao-juan;JIANG Hong

Online:2016-06-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 利用模拟在线CVD镀膜的实验设备,通过改变原料参数而在玻璃表面制备了ATO系列薄膜样品,并通过紫外-可见-近红外分光光度计、XRD、SEM及方块电阻计等测试手段研究参数变化对膜层结构与性能的影响.结果表明:不同工艺参数下,所制备的薄膜均为四方相金红石型结构;当Sb掺杂量为3wt％,Sn/H2O摩尔比为2∶1时,制备出的薄膜样品性能表现为:可见光透过率为79.25％;方块电阻为20 Ω·口-1;遮蔽系数为0.66,其在保证良好采光的同时具备一定遮阳及低辐射性能,可满足市场需求.

关键词: 模拟在线CVD镀膜;锑掺杂;遮阳;低辐射

Key words: simulate on-line CVD coating;antimony doping;solar-control;low emissivity

中图分类号:

TB43
TB34

崔永红;张振华;赵会峰;陈峰;刘晓娟;姜宏. 模拟浮法玻璃在线CVD制备SnO2∶Sb薄膜及其性能研究[J]. 硅酸盐通报, 2016, 35(6): 1856-1860.

CUI Yong-hong;ZHANG Zhen-hua;ZHAO Hui-feng;CHEN Feng;LIU Xiao-juan;JIANG Hong. Synthesis and Properties Research of SnO2∶Sb Thin Films by Simulating Float Glass On-line CVD Process[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2016, 35(6): 1856-1860.

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