摘要： 在传统的衬底上生长出的GaN都是沿着极性轴c轴方向的,非极性GaN薄膜克服了极性薄膜中因为产生内建电场而带来的发光效率和结晶质量的问题.本文主要介绍了非极性GaN薄膜的结构特性、薄膜的制备方法、不同衬底上生长非极性GaN薄膜的研究进展及其器件应用.
中图分类号:
孙孪鸿;徐家跃;邹军;王凤超. 非极性GaN薄膜与器件的研究进展[J]. 硅酸盐通报, 2014, 33(10): 2552-2557.
SUN Luan-hong;XU Jia-yue;ZOU Jun;WANG Feng-chao. Research Progress of Non-polar GaN Films and Devices[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2014, 33(10): 2552-2557.
