气相传输法生长超长AlN晶须

硅酸盐通报 ›› 2014, Vol. 33 ›› Issue (4): 816-820.

气相传输法生长超长AlN晶须

齐海涛;张丽;洪颖;史月增;郝建民

中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津,300220

出版日期:2014-04-15 发布日期:2021-01-18

Ultra-long AlN Crystal Whiskers Grown by Physical Vapor Transport Method

QI Hai-tao;ZHANG Li;HONG Ying;SHI Yue-zeng;HAO Jian-min

Online:2014-04-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 研究了SiC上AlN晶须的气相生长技术.通过对生长温度和压力的调控,获得了六方柱状、台梯状和条带状三种形貌的AlN晶须.柱状晶须长度可达35 mm,直径lμm左右.通过扫描电镜和XRD分析,探讨了AlN晶须形态、结晶取向和生长条件之间的关系.低温、低压、较高饱和度条件下,AlN晶须沿[0001]方向生长,发育为六方细柱.随着生长温度提高,AlN晶须的优先生长面转向{1-102}面,形貌变为笔直的台梯状.继续增加压力,{10-10}面成为优先生长面,晶须呈现卷曲的条带状.

关键词: AlN;晶须;物理气相传输法;晶体形态

Key words: AlN;crystal whisker;physical vapor transport;morphologies of crystal

中图分类号:

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