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硅酸盐通报 ›› 2013, Vol. 32 ›› Issue (11): 2227-2230.

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Cu含量对Zn1-xCuxO薄膜光学性能的影响

王存勇;周智涛;王峰;刘昌龙;龚万兵;吕建国;刘峰;黄凯   

  1. 合肥师范学院电子信息工程学院,合肥,230061;合肥师范学院电子信息工程学院,合肥230061;中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海200083;安徽工程大学数理学院,芜湖,241000;安徽建筑工业学院数理系,合肥,230601
  • 出版日期:2013-11-15 发布日期:2021-01-18
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(51002156,51102072);中国博士后基金(2012M520944);安徽省自然科学基金(1208085MF99,1208085QA16);上海市博士后基金(12R21416800);安徽高校省级自然科学研究项目(KJ2010B148)

Effect of Cu Concentration on Optical Properties of Zn1-xCuxO Thin Films

  • Online:2013-11-15 Published:2021-01-18

摘要: 采用溶胶-凝胶法制备CuxZn1-xO薄膜,用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和荧光光谱仪研究薄膜的微结构、表面形貌、透射谱和光致发光谱,结果表明:薄膜均呈六角纤锌矿结构,随着Cu含量增加,薄膜平均晶粒尺寸先增大后减小,表面RMS粗糙度先减小后增大,紫外吸收边发生蓝移,薄膜在可见光波段范围内的平均透过率在80%左右.未掺杂ZnO薄膜中出现一个相对较弱紫光发射带和一个很强的绿光发射带,其它薄膜中出现一个紫光发射和一个蓝光发射带;紫光发射归因于导带以下的局域能级与价带之间的电子跃迁,绿光发射来自于氧空位缺陷能级与价带之间的电子跃迁.

关键词: Zn1-xCuxO薄膜;微结构;AFM;光致发光

Key words: Zn1-xCuxO thin film;microstructure;AFM;photoluminescence(PL)

中图分类号: