氨热法生长氮化镓体单晶的工艺与设备

硅酸盐通报 ›› 2013, Vol. 32 ›› Issue (10): 2046-2050.

氨热法生长氮化镓体单晶的工艺与设备

周海涛;李东平;何小玲;张昌龙

中国有色桂林矿产地质研究院有限公司广西超硬材料重点实验室,国家特种矿物材料工程技术研究中心,桂林541004

出版日期:2013-10-15 发布日期:2021-01-18
基金资助:
广西自然科学基金重点基金(桂科自0991005Z)

Process and Equipment of Gallium Nitride Single Crystal Growth with Ammonothermal Method

ZHOU Hai-tao;LI Dong-ping;HE Xiao-ling;ZHANG Chang-long

Online:2013-10-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 由于大尺寸氮化镓单晶难以获得,只能用异质衬底来制作氮化镓器件,因此现在的氮化镓基器件的性能指标还远低于其理论值.氢化物外延法、高压熔体法、助熔剂法和氨热法等许多方法已经用做生长氮化镓大尺寸单晶.其中,氨热法易于实现尺寸扩大,有批量化生产低成本氮化镓晶片的潜力.目前有两个问题仍有待解决.首先是设备,如何增大高压釜口径为液氨溶液提供可靠的设备;第二个是生长工艺,如何以较低的成本得到大面积,低缺陷密度的氮化镓.本文简单综述了氨热法生长大尺寸氮化镓晶体进展.主要内容是关注氨热法的设备和生长工艺.最后探讨了氨热法合成氮化镓单晶的发展前景.

中图分类号:

O782

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