石英块体表面制备氮化硅层的研究

硅酸盐通报 ›› 2013, Vol. 32 ›› Issue (4): 542-546.

石英块体表面制备氮化硅层的研究

徐卓;吴一;邹正光;龙飞;申玉芳;顾强

桂林理工大学材料科学与工程学院有色金属材料及其加工新技术教育部重点实验室,桂林,541004

出版日期:2013-04-15 发布日期:2021-01-18
基金资助:
国家基金(51262004);广西自然科学基金重点项目(2010GXNSFD013010);广西科学研究技术开发项目(桂科能09-007-02-08);广西科学研究与技术开发计划项目(桂科攻12118020-2-2-4);2012年度广西高等学校重大科研资助项目(桂教科研(2012)10号2012ZD011)

Research on Synthesis of Si3N4 Coating on the Surface of Quartz Block

XU Zhuo;WU Yi;ZOU Zheng-guang;LONG Fei;SHEN Yu-fang;GU Qiang

Online:2013-04-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 高纯Si粉或Si3N4粉为反应原料,分别以SiO2粉、MgO粉、CaO粉,或者自制玻璃粉为粘结剂,按不同质量百分比与PVA饱和溶液混合,分层涂抹在石英块体表面.在N2气氛中,于1500℃高温氮化烧结180 min,在石英块体表面制备氮化硅层.XRD与EDS图谱的分析结果表明,以SiO2粉、MgO粉、CaO粉为粘结剂,产物层物相为氮化硅或氧氮化硅,产物层致密且有一定厚度和强度,但是产物层和石英块体的结合性差；以自制玻璃粉为粘结剂的实验结果表明:产物层主要物相为氮化硅,产物层有一定厚度和强度,而且与石英块体的结合性较好.

中图分类号:

TB321

徐卓;吴一;邹正光;龙飞;申玉芳;顾强. 石英块体表面制备氮化硅层的研究[J]. 硅酸盐通报, 2013, 32(4): 542-546.

XU Zhuo;WU Yi;ZOU Zheng-guang;LONG Fei;SHEN Yu-fang;GU Qiang. Research on Synthesis of Si3N4 Coating on the Surface of Quartz Block[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2013, 32(4): 542-546.

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