非晶铟镓锌氧化物薄膜的制备及其在薄膜晶体管中的应用

硅酸盐通报 ›› 2012, Vol. 31 ›› Issue (1): 106-110.

非晶铟镓锌氧化物薄膜的制备及其在薄膜晶体管中的应用

李光;郑艳彬;王文龙;姜志刚

长春中医药大学药学院,长春,130117;吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春,130012

出版日期:2012-02-15 发布日期:2021-01-18

Preparation of Amorphous Indium-gallium-zinc-oxide Film and Its Application in Thin-film Transistor

LI Guang;ZHENG Yan-bin;WANG Wen-long;JIANG Zhi-gang

Online:2012-02-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,作为一种新型透明氧化物半导体材料,最近引起了广泛关注.这主要是由于它优异的性能可以使它作为薄膜晶体管的有源层材料,在显示行业有巨大的应用前景.本文首先介绍了铟镓锌氧化物的结构,同时综述了非晶铟镓锌氧化物薄膜的制备方法,包括溅射、悬涂和喷墨印刷技术；最后对基于铟镓锌氧化物薄膜晶体管背板技术的产业化进行了展望.

中图分类号:

TN304

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