SiC/Si上六方YMnO3薄膜的制备和铁电性能

硅酸盐通报 ›› 2010, Vol. 29 ›› Issue (4): 967-971.

SiC/Si上六方YMnO3薄膜的制备和铁电性能

刘越峰;郑海务;张华荣;王超;马兴平;顾玉宗

河南大学物理系微系统物理研究所,河南省光伏材料重点实验室,开封,475004;河南大学基础实验教学中心,开封,475004;河南大学物理系微系统物理研究所,河南省光伏材料重点实验室,开封,475004

出版日期:2010-08-15 发布日期:2021-01-18
基金资助:
国家自然科学基金(50802023)%河南省科技攻关重点项目(082102270039;102102210115)%河南省高等学校青年骨干教师资助计划(2009GGJS-026)%河南省教育厅自然科学研究计划(2008B140003;2009A430002)

Preparation and Ferroelectric Property of YMnO3 Thin Film on SiC/Si

LIU Yue-feng;ZHENG Hai-wu;ZHANG Hua-rong;WANG Chao;MA Xing-ping;GU Yu-zong

Online:2010-08-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 采用化学溶液法在 SiC/Si 上制备了YMnO3 薄膜.XRD 结果显示所制备的薄膜为六方YMnO3,且具有部分择优取向生长.拉曼光谱和XPS的结果验证了样品为六方纯相YMnO3.以 Pt 为顶电极,测试了 YMnO3 薄膜的电滞回线,结果显示YMnO3 薄膜具有良好的铁电性质.

中图分类号:

O614

刘越峰;郑海务;张华荣;王超;马兴平;顾玉宗. SiC/Si上六方YMnO3薄膜的制备和铁电性能[J]. 硅酸盐通报, 2010, 29(4): 967-971.

LIU Yue-feng;ZHENG Hai-wu;ZHANG Hua-rong;WANG Chao;MA Xing-ping;GU Yu-zong. Preparation and Ferroelectric Property of YMnO3 Thin Film on SiC/Si[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2010, 29(4): 967-971.

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