TiO2-SnO2薄膜的湿敏性能研究

硅酸盐通报 ›› 2010, Vol. 29 ›› Issue (4): 903-907.

TiO2-SnO2薄膜的湿敏性能研究

韩志萍;闫龙;王玉飞;史志铭

榆林学院化学与化学工程学院,榆林,719000;内蒙古工业大学材料科学与工程学院,呼和浩特,010051

出版日期:2010-08-15 发布日期:2021-01-18
基金资助:
国家自然科学基金项目(50562003)%陕西省科技研究发展计划项目(2009K06-26)%陕西省教育厅科学研究计划项目(09JK843)%榆林市科技计划项目(gygg200812)

Study on Humidity Sensing Properties of TiO2-SnO2 Thin Films

HAN Zhi-ping;YAN Long;WANG Yu-fei;SHI Zhi-ming

Online:2010-08-15 Published:2021-01-18

摘要/Abstract

摘要： 采用溶胶-凝胶工艺在印有梳状银电极的石英玻璃表面制备了不同含量Sn2+掺杂的氧化钛薄膜,通过烧结制得一系列湿敏元件,研究了Sn2+掺杂量、烧结温度和工作频率对薄膜湿敏性能的影响.研究表明,较低的工作频率下元件的湿敏性能较好;Sn2+的加入不同程度地降低了TiO2基薄膜的阻抗值,其中TiO2-15wt%SnO2薄膜表现出最高的灵敏度;薄膜高的湿敏性能与Sn2+掺杂引起的晶粒度变化以及热处理过程中的晶型转变有关.

中图分类号:

O484

韩志萍;闫龙;王玉飞;史志铭. TiO2-SnO2薄膜的湿敏性能研究[J]. 硅酸盐通报, 2010, 29(4): 903-907.

HAN Zhi-ping;YAN Long;WANG Yu-fei;SHI Zhi-ming. Study on Humidity Sensing Properties of TiO2-SnO2 Thin Films[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2010, 29(4): 903-907.

[1]	李杭;南辉;赵晓冲. 纳米金掺杂二氧化钛复合材料制备及表面等离子体效应[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(11): 3697-3700.
[2]	陈新;孙悦;朱彩霞;高文忠;陈传明. 表面活性剂对SBA-15分子筛吸附性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(6): 1970-1974.
[3]	上官旻杰;赵青南;林鸿剑;董玉红;赵杰. 热处理对浮法玻璃和Low-E玻璃表面组成的影响[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(5): 1639-1644.
[4]	代清平;韦俊;吴冬妮;邓朝勇. 0.65BaTiO3-0.35Na0.5Bi0.5TiO3薄膜的制备及其电学性能研究[J]. 硅酸盐通报, 2019, 38(11): 3479-348.
[5]	常潇;赵青南;王晓宏;陆文涛;董玉红;赵杰. 碳氧化硅过渡层对玻璃基DLC薄膜性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2019, 38(10): 3033-303.
[6]	宋鑫茹;闫君;陈云琳;戴春爱. 单源热蒸镀法和一步旋涂法制备钙钛矿太阳能电池[J]. 硅酸盐通报, 2019, 38(10): 3067-307.
[7]	彭塞奥;王天齐;金克武;杨扬;李刚;姚婷婷;杨勇;沈洪雪;鲍田;汤永康;金良茂;王东;苏文静;沈鸿烈;甘治平. 溅射功率对二氧化锆薄膜结构及力学性能的影响研究[J]. 硅酸盐通报, 2019, 38(10): 3133-313.
[8]	陆文涛;赵青南;王晓宏;常潇;董玉红;赵杰. 可见光照射下Fe3+掺杂量对玻璃基TiO2薄膜亲水性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2019, 38(10): 3293-330.
[9]	陈七;何峰;张树岩;张博文;张鸣奇;刘锡宇;施江. 不同ATO掺量对SiO2/ATO-SiO2疏水型抗静电增透膜性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2019, 38(8): 2391-239.
[10]	梁斐;赵修建;倪佳苗;郑敏栋. 热处理对Sb:SnO2透明导电薄膜光电性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2017, 36(9): 2951-2957.
[11]	丛芳玲;赵青南;刘旭;罗乐平;顾宝宝;董玉红;赵杰. 溅射时间对GZO薄膜光电性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2016, 35(12): 3910-3914.
[12]	罗乐平;赵青南;刘旭;丛芳玲;顾宝宝;董玉红;赵杰. 基片温度对直流反应磁控溅射法制备氧化钨电致变色材料循环寿命的影响[J]. 硅酸盐通报, 2016, 35(6): 1847-1850.
[13]	张博;冀国俊;张薇. 烧结温度对不锈钢表面溶胶-凝胶ZrO2纳米薄膜摩擦学性能的影响[J]. 硅酸盐通报, 2016, 35(5): 1413-1417.
[14]	吴奇丹;许俊伸;李武新;林枞. 不同溶剂中表面活性剂对氧化铝电泳沉积的影响[J]. 硅酸盐通报, 2016, 35(3): 789-793.
[15]	戴结林;江瑶瑶;尚凤娇;周智涛;王峰;赵敏;吕建国. 水热法制备In掺杂ZnO薄膜的表面形貌及其光学性质[J]. 硅酸盐通报, 2015, 34(5): 1219-1222.