(Zr, Sn)TiO_4薄膜的制备及电性能研究进展

硅酸盐通报 ›› 2009, Vol. 28 ›› Issue (5): 986-990.

(Zr, Sn)TiO_4薄膜的制备及电性能研究进展

陈飞;周洪庆;朱海奎;韦鹏飞;陈栋;刘敏

南京工业大学材料科学与工程学院,南京,210009

发布日期:2021-01-15
基金资助:
江苏省高校中青年学术带头人青蓝工程资助项目

Research Progress in Preparation and Electric Properties of (Zr, Sn)TiO_4 Thin Films

CHEN Fei;ZHOU Hong-qing;ZHU Hai-kui;WEI Peng-fei;CHEN Dong;LIU Min

Published:2021-01-15

摘要/Abstract

摘要： 从对薄膜材料不断增长的性能要求出发,介绍了(Zr, Sn)TiO_4薄膜的晶体结构特征,主要阐述了其已有的制备工艺及电性能的研究进展.提出(Zr, Sn)TiO_4薄膜的制备方法将得到拓展和改进,指出了其今后的研究方向.

关键词: (Zr,Sn)TiO_4薄膜;晶体结构;制备;性能

Abstract: From the piont of the increasing requirement on the performance of thin film materials, the crystal structure, preparation technologies, electrical properties of (Zr, Sn)TiO_4 thin films were mainly summarized. It was proposed that the preparation methods would be extended and modified. And the reserch focus was also pionted out.

Key words: (Zr,Sn)TiO_4 thin films%crystal structure%preparation%properties

中图分类号:

O484

陈飞;周洪庆;朱海奎;韦鹏飞;陈栋;刘敏. (Zr, Sn)TiO_4薄膜的制备及电性能研究进展[J]. 硅酸盐通报, 2009, 28(5): 986-990.

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