类金刚石膜的性能、制备及其应用

硅酸盐通报 ›› 2008, Vol. 27 ›› Issue (1): 119-126.

类金刚石膜的性能、制备及其应用

杨玉卫;杨坚;古宏伟;刘慧舟;张华;金薇

北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088

出版日期:2008-02-15 发布日期:2021-01-15

Properties,Processing and Application of Diamond-like Carbon Film

YANG Yu-wei;YANG Jian;GU Hong-wei;LIU Hui-zhou;ZHANG Hua;JIN Wei

Online:2008-02-15 Published:2021-01-15

摘要/Abstract

摘要： 类金刚石膜是无定形碳中含sp3键的亚稳态结构.由于它的组成、光学透过率、硬度、折射率和在化学腐蚀剂中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金刚石,其应用领域不断被拓宽,因此对类金刚石的研究也日益成为热点.本文介绍了类金刚石的性能、制备类金刚石膜的物理气相沉积和化学气相沉积方法,概括了类金刚石膜在机械、电磁学、光学、医学以及其它领域的应用,最后指出了类金刚石膜的研究现状及其发展趋势.

中图分类号:

O484.4

杨玉卫;杨坚;古宏伟;刘慧舟;张华;金薇. 类金刚石膜的性能、制备及其应用[J]. 硅酸盐通报, 2008, 27(1): 119-126.

YANG Yu-wei;YANG Jian;GU Hong-wei;LIU Hui-zhou;ZHANG Hua;JIN Wei. Properties,Processing and Application of Diamond-like Carbon Film[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2008, 27(1): 119-126.