小型化CVD金刚石膜沉积设备控制系统研究

硅酸盐通报 ›› 2007, Vol. 26 ›› Issue (6): 1058-1063.

小型化CVD金刚石膜沉积设备控制系统研究

钟磊;卢文壮;王鸿翔;徐锋;左敦稳

南京航空航天大学机电学院,南京,210016

出版日期:2007-12-15 发布日期:2021-01-15
基金资助:
国家自然科学基金(50605032)%江苏省自然科学基金(BK2006189)%江苏省高校研究生创新计划项目(XM05)

Study on Control System of Miniature Equipement for CVD Diamond Deposition

ZHONG Lei;LU Wen-zhuang;WANG Hong-xiang;XU Feng;ZUO Dun-wen

Online:2007-12-15 Published:2021-01-15

摘要/Abstract

摘要： 以新型的小型化CVD金刚石膜沉积设备为对象,设计了基于微控制器的集成控制系统,实现了对小型化设备无人看守状态下CVD金刚石膜的制备.阐述了采用混合信号SOC单片机C8051F020的系统硬件结构,实现了制备过程中各种物理量的实时采集.建立了基于模糊PID控制器混合算法的控制策略并对其进行优化.系统运用表明:该系统对沉积CVD金刚石的工艺参数控制精确,数据记录可靠,人机界面完善,系统能够长时间稳定运行,可以制备出高质量的CVD金刚石涂层.

中图分类号:

TB43

钟磊;卢文壮;王鸿翔;徐锋;左敦稳. 小型化CVD金刚石膜沉积设备控制系统研究[J]. 硅酸盐通报, 2007, 26(6): 1058-1063.

ZHONG Lei;LU Wen-zhuang;WANG Hong-xiang;XU Feng;ZUO Dun-wen. Study on Control System of Miniature Equipement for CVD Diamond Deposition[J]. BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY, 2007, 26(6): 1058-1063.

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