硅酸盐通报 ›› 2006, Vol. 25 ›› Issue (5): 103-107.
李传山;沈建兴;张雷;董金美
出版日期:2006-10-15
发布日期:2021-01-15
基金资助:LI Chuan-shan;SHEN Jian-xing;ZHANG Lei;DONG Jin-mei
Online:2006-10-15
Published:2021-01-15
摘要： PZT压电厚膜材料具有良好的压电性能,它兼顾了块体材料和薄膜的优点,近年来得到了广泛的研究与应用.本文简述了制备PZT压电厚膜的制备方法及基板、电极材料的研究情况,讨论了目前制造PZT压电厚膜所存在的基板与厚膜之间的高温扩散以及丝网印刷用厚膜浆料难以分散均匀等共性问题,同时,就如何解决这些问题进行了评述.
中图分类号:
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