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硅酸盐通报 ›› 2004, Vol. 23 ›› Issue (4): 107-109.

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液相沉淀法制备HfO2纳米粉体

吴智华;蒋丹宇;刘健敏;吉亚明;张骋   

  1. 上海大学电子信息材料系,上海,201800;中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050
  • 出版日期:2004-08-15 发布日期:2021-01-15

The Nano HfO2 Powders Prepared by Chemical Precipitant Method

  • Online:2004-08-15 Published:2021-01-15

摘要: 以HfOCl2·8H2O为原料,采用化学沉淀法在不同的pH值下制备HfO2纳米粉体,并对制备的纳米粉体采用XRD,DSC-TG,TEM,BET等方法进行表征.研究了pH值对粉体比表面积、粒径的影响.结果表明:本方法制备的纳米粉体呈简单正交晶型,平均粒径为10m,粒度分布窄,随着pH值的增加,粉体有比表面积增大,平均粒径减小的趋势,但变化幅度较小.

关键词: 化学沉淀法;HfO2纳米粉体;pH