ZrO2-SiO2二元系统平面光波导薄膜的制备与性能表征

硅酸盐通报 ›› 2004, Vol. 23 ›› Issue (3): 35-37.

ZrO2-SiO2二元系统平面光波导薄膜的制备与性能表征

华斌;钱国栋;徐静;何赛灵;王民权

浙江大学材料系,硅材料国家重点实验室,杭州,310027;浙江大学光电系光与电磁波研究中心,杭州,310027

出版日期:2004-06-15 发布日期:2021-01-15
基金资助:
国家自然科学基金(90101007)%教育部跨世纪优秀人才培养计划

Preparation and Characterization of ZrO2-SiO2 Binary Films for Planar Optical Waveguide

Online:2004-06-15 Published:2021-01-15

摘要/Abstract

摘要： 应用溶胶-凝胶技术,以TEOS与ZrOCl2·8H2O为先驱体,研制了用于有源光波导基质材料的ZrO2-SiO2二元系统薄膜,探明了ZrO2-SiO2二元系统薄膜折射率、厚度与薄膜组分、匀胶速度、陈化时间、热处理温度的内在关系,实现薄膜厚度和薄膜折射率在一定范围内的连续可调,为研制一类新型的光通信窗口有源光波导材料提供了基质材料.

华斌;钱国栋;徐静;何赛灵;王民权. ZrO2-SiO2二元系统平面光波导薄膜的制备与性能表征[J]. 硅酸盐通报, 2004, 23(3): 35-37.

ZrO2-SiO2二元系统平面光波导薄膜的制备与性能表征

Preparation and Characterization of ZrO2-SiO2 Binary Films for Planar Optical Waveguide

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