溶胶-凝胶法在碳化硅表面浸涂氧化铝薄膜的研究

张庆勇;王浩

摘要： 研究了以异丙醇铝为主要原料,异丙醇为熔剂,添加乙酰乙酸乙酯作为螯合剂,利用溶胶-凝胶法在碳化硅表面浸涂厚约0.5μm的Al2O3多晶膜.用XRD,IR,SEM,TG-DTA等测试手段详细研究了涂膜在加热过程中所发生的物理-化学变化.比较了涂膜前后碳化硅材料的抗高温氧化性能.

中图分类号:

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