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硅酸盐通报 ›› 2000, Vol. 19 ›› Issue (6): 32-36.

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声表面波用基片材料

郝俊杰;徐廷献   

  1. 天津大学材料学院,天津,300072
  • 出版日期:2000-12-15 发布日期:2021-01-15

The Substrate Materials Used for SAW

Hao Junjie;Xu Tingxian   

  • Online:2000-12-15 Published:2021-01-15

摘要: 本文综述了压电材料在声表面波器件中的应用,分别介绍了压电单晶、压电陶瓷、压电薄膜等基片在SAW器件中的发展进程及其各自的特点,并对我国声表面波用基片材料的发展进行了展望.

关键词: 声表面波;压电;基片

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