硅酸盐通报 ›› 2000, Vol. 19 ›› Issue (3): 21-23.
沈良;宋世庚;贾锐;陶明德
出版日期:2000-06-15
发布日期:2021-01-15
Shen Liang;Song Shigeng;Jia Rui;Tao Mingde
Online:2000-06-15
Published:2021-01-15
摘要： 以钛酸四丁酯和乙酸钡为主要原料,以乙二醇独甲醚为溶剂,采用溶胶凝胶法成功地配制出了BaTiO3溶胶,溶胶清晰稳定,保存时间长.并用XRD分析了沉积在Si(100)低阻硅片上的薄膜的结构,发现薄膜在600℃时结晶状态已良好.文中同时对薄膜的介电性质进行研究,并讨论了退火温度对薄膜介电性质的影响.
中图分类号:
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